|
|
|
|
|
00000cas1a2200000 ij4500 |
001 |
BY-NLB-br80640 |
005 |
20220414180959.0 |
011 |
# |
# |
$a 0320-4502
|
100 |
# |
# |
$a 19970811b19751988k y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
109 |
# |
# |
$a aa
$a ca
|
110 |
# |
# |
$a zz|||||0||0
|
200 |
1 |
# |
$a Активируемые процессы технологии микроэлектроники
$e межвузовский тематический научный сборник
$f Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д.Калмыкова
|
207 |
# |
0 |
$a Вып. 1 (1975)―9 (1988)
|
210 |
# |
# |
$a Таганрог
$c ТРТИ
$d 1975―1988
|
320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 5
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar3269324
$a Таганрогский радиотехнический институт имени В. Д. Калмыкова
$4 475
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20161006
$g RCR
|