Активируемые процессы технологии микроэлектроники: межвузовский тематический научный сборник / Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д.Калмыкова

Сохранено в:
Другие авторы/ответственные: Таганрогский радиотехнический институт имени В. Д. Калмыкова
Вид документа: Продолжающиеся издания
Опубликовано: Таганрог : ТРТИ , 1975―1988
Язык: Русский
Предмет:
00000cas1a2200000 ij4500
001 BY-NLB-br80640
005 20220414180959.0
011 # # $a 0320-4502 
100 # # $a 19970811b19751988k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
109 # # $a aa  $a ca 
110 # # $a zz|||||0||0 
200 1 # $a Активируемые процессы технологии микроэлектроники  $e межвузовский тематический научный сборник  $f Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д.Калмыкова 
207 # 0 $a Вып. 1 (1975)―9 (1988) 
210 # # $a Таганрог  $c ТРТИ  $d 1975―1988 
320 # # $a Библиография в конце статей 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.77  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 5  $2 rugasnti 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar3269324  $a Таганрогский радиотехнический институт имени В. Д. Калмыкова  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20161006  $g RCR