Электронный каталог Национальной библиотеки Беларуси :: Национальная Библиотека РБ

Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро- и наноэлектроники: монография / [А. П. Достанко и др.]

Сохранено в:

Шифр документа:	1Н//324775(039), 1Н//324776(039), ##1Н//333459(055),
Вид документа:	Книги
Опубликовано:	Минск : Бестпринт , 2011
Физические характеристики:	215 с. : ил., табл.
Язык:	Русский
Предмет:	НАНОЭЛЕКТРОНИКА НАНОТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА МИКРОСВАРКА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ УСТАНОВКИ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 2 , доступно: 2

Доступно Заказать

Информация об экземплярах

Шифр	Фонд	Место нахождения	Статус экземпляра	Читальный зал
1Н//324775(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:5:45	СВОБОДЕН	Рекомендованный ЧитЗал
1Н//324776(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:5:45	СВОБОДЕН	Рекомендованный ЧитЗал