Разработка, внедрение и исследование подсистемы автоматизированного управления легированием на участке выращивания монокристаллов кремния по методу вытягивания из расплава [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.13.07)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Розенталь, Г. О. |
| Publié: | М. , 1988 |
| Description matérielle: |
195 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||