Исследование и разработка процессов формирования проводящих пленок из ПГС, включающей галогениды металлов, при пониженном давлении в реакционном объеме [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Нечипоренко, А. П. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
213 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||