Физико-химические и технологические основы проектирования и разработки процесссов и оборудования сухого размерного травления функциональных слоев микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Киреев, В. Ю. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
440 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||