Взаимосвязь рекомбинационных характеристик системы Si-SiO₂-Si₃N₄ с методиками синтеза и обработки диэлектрических слоев [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 18.10.89: (01.04.10)
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Калшабеков, А. С. |
| Wydane: | Киев , 1988 |
| Opis fizyczny: |
157 с. : ил.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||