Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: (05.27.01)
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Ерохин, Ю. Н. |
| Publicado: | М. , 1991 |
| Descripción Física: |
131 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||