Разработка, исследование и внедрение технологии химико-механического полирования полупроводников типа A³B⁵ [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дмитриева, Т. В. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
240 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||