Развитие метода плосковолновой топографии применительно к исследованию монокристаллических подложек, используемых в технологии изготовления ИМС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: (01.04.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Беляевская, Е. А. |
| Опубликовано: | Л. Кишинев , 1990 |
| Физические характеристики: |
179 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||