Применение спектроскопии электроотражения света для исследования и контроля пареметров полупроводниковых структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Ин-т общ. физики АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Галиев, Г. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1986 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr39269220000 | ||
| 005 | 20071023160503.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20071023d1986 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Применение спектроскопии электроотражения света для исследования и контроля пареметров полупроводниковых структур $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (05.27.01) $f Ин-т общ. физики АН СССР |
| 210 | # | # | $a М. $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 26 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 24-26 (12; 5 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Галиев $b Г. Б. $g Галиб Бариевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071023 $g psbo |