Применение спектроскопии электроотражения света для исследования и контроля пареметров полупроводниковых структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Ин-т общ. физики АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Галиев, Г. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1986 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||