Повышение эффективности процессов и устройств плазмохимического травления материалов микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Врублевский, Э. М. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||