Разработка растворов на основе тетраэтоксисилана для получения легированных кремнеземных пленок с целью модификации свойств кремния и ниобата лития: Автореф. дисс. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.11)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Возняковская, О. А. |
| Опубликовано: | Л. , 1984 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||