|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr38549480000 |
| 005 |
20071022183608.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 16 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [77-65839]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071022d1977 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Опыт внедрения лазерной обработки тонких пленок в микроэлектронике
$f В. П. Вейко
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c ЛДНТП
$d 1977
|
| 215 |
# |
# |
$a 30 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Серия «Прогрессивные методы обраб. металлов и сплавов»
$f Ленингр. дом науч.-техн. пропаганды
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 29 (14 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 4400 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Лазерная обработка
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1.002:621.373.826
|
| 700 |
# |
1 |
$a Вейко
$b В. П.
$g Вадим Павлович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071022
$g psbo
|
