Опыт внедрения лазерной обработки тонких пленок в микроэлектронике / В. П. Вейко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Вейко, В. П. |
| Опубликовано: | Л. : ЛДНТП , 1977 |
| Физические характеристики: |
30 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Серия «Прогрессивные методы обраб. металлов и сплавов»
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||