Синтез слоев нитрида диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана: (02.00.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук / Сиб. отд-ние АН СССР, Ин-т химии твердого тела и перераб. минер. сырья
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильев, В. Ю. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1990 |
| Физические характеристики: |
19, [1] с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr38444200000 | ||
| 005 | 20071022173557.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [90-7908а] |
| 100 | # | # | $a 20071022d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Синтез слоев нитрида диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана $e (02.00.04) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $f Сиб. отд-ние АН СССР, Ин-т химии твердого тела и перераб. минер. сырья |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 19, [1] с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.) |
| 686 | # | # | $a 02.00.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Васильев $b В. Ю. $g Владислав Юрьевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071022 $g psbo |