Синтез слоев нитрида диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана: (02.00.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук / Сиб. отд-ние АН СССР, Ин-т химии твердого тела и перераб. минер. сырья
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильев, В. Ю. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1990 |
| Физические характеристики: |
19, [1] с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||