Пористая структура диэлектрических и полупроводниковых пленок и ее изменение при термической, ионной и химической обработке: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (05.17.16) / Моск. хим.-технол. ин-т им. Д. И. Менделеева
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Василенко, Ю. А. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||