Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений]

Сохранено в:
Шифр документа: АУ633043, М225072,
Вид документа: Книги
Автор: Борисенко, А. С.
Опубликовано: М. : Машиностроение , 1983
Физические характеристики: 319 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr37769420000
005 20070831110444.0
010 # # $b В пер.  $d 1 р. 
021 # # $a RU  $b [83-18584] 
100 # # $a 20070831d1983 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств  $e [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] 
210 # # $a М.  $c Машиностроение  $d 1983 
215 # # $a 319 с.  $c ил.  $d 22 см 
300 # # $a Загл. корешка: Производство микроэлектронных устройств. Библиогр.: с. 318-319 (37 назв.) 
345 # # $9 14000 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Учебники и пособия 
675 # # $a 621.382.049.77.002(075.32) 
700 # 1 $a Борисенко  $b А. С.  $g Александр Сергеевич 
701 # 1 $a Бавыкин  $b Н. И.  $g Николай Иванович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070831  $g psbo