Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Борисенко, А. С. |
| Опубликовано: | М. : Машиностроение , 1983 |
| Физические характеристики: |
319 с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||