Исследования дефектов кристаллической структуры, возникающих в полупроводниках при технологических воздействиях, методами амплитудно-фазового электронно-микроскопического контраста: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / Моск. ин-т электронной техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Боргардт, Н. И. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||