Методы анализа и изготовления дифракционных оптических элементов для микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.04)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Бобров, С. Т. |
| Апублікавана: | Л. , 1980 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
22 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||