Образование дефектов на кремниевых пластинах в процессе их эпитаксиального выращивания
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бидерман, Э. |
| Опубликовано: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исследований и науч. информации , 1967 |
| Физические характеристики: |
8 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Переводы иностр. литературы. Серия "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника"
Перевод № 79/ЭТ-2069 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||