Использование ионных пучков для воздействия на физические и физико-химические свойства слоистых и многокомпонентных материалов, применяемых в электронной технике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бетуганов, М. А. |
| Опубликовано: | М. , 1981 |
| Физические характеристики: |
44 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||