|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37323260000 |
| 005 |
20101015094503.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-77735]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070830d1982 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оптические основы контактной фотолитографии
$f Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 103 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Массовая б-ка инженера. Электроника
$v Вып. 33
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 98―101 (57 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 6800 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:776
|
| 700 |
# |
1 |
$a Березин
$b Г. Н.
$g Геннадий Николаевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Никитин
$b А. В.
$g Аркадий Викторович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Сурис
$b Р. А.
$g Роберт Арнольдович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070830
$g psbo
|
