Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Березин, Г. Н. |
| Опубликовано: | М. : Радио и связь , 1982 |
| Физические характеристики: |
103 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Массовая б-ка инженера. Электроника
Вып. 33 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||