Развитие метода плосковолновой топографии применительно к исследованию монокристаллических подложек, используемых в технологии изготовления ИМС: (01.04.18): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН ССР Молдова, Ин-т прикл. физики

Сохранено в:
Шифр документа: 131962/90,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Беляевская, Е. А.
Опубликовано: Кишинев , 1990
Физические характеристики: 21 с. : ил.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr37263410000
005 20070830150207.0
021 # # $a RU  $b [90-21005а] 
100 # # $a 20070830d1990 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a MD 
200 1 # $a Развитие метода плосковолновой топографии применительно к исследованию монокристаллических подложек, используемых в технологии изготовления ИМС  $e (01.04.18)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $f АН ССР Молдова, Ин-т прикл. физики 
210 # # $a Кишинев  $d 1990 
215 # # $a 21 с.  $c ил. 
300 # # $a Библиогр.: с. 19-21 (12 назв.) 
686 # # $a 01.04.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Беляевская  $b Е. А.  $g Елена Анатольевна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070830  $g psbo