Развитие метода плосковолновой топографии применительно к исследованию монокристаллических подложек, используемых в технологии изготовления ИМС: (01.04.18): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН ССР Молдова, Ин-т прикл. физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Беляевская, Е. А. |
| Опубликовано: | Кишинев , 1990 |
| Физические характеристики: |
21 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||