Исследование процесса наращивания автоэпитаксиальных слоев кремния с целью создания высокопроизводительного оборудования для получения структур большого диаметра: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.17.16)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Басовский, А. А. |
| Published: | М. , 1978 |
| Physical Description: |
27 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||