|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr36505980000 |
| 005 |
20201027111038.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Беспл.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-50223]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070827d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Автоматизация обеспечения микроклимата и технологических процессов в чистых производственных помещениях
$e Материалы к 3-й науч.-техн. конф. «Экология микроэлектроники-90»
$f С. М. Афонин, В. И. Осокин, А. А. Сазонов
$g Моск. ин-т электрон. техники
$g Под ред. А. А. Сазонова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 190 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 187-190 (32 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 360 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Чистые производственные помещения
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронная промышленность, предприятия - Охрана труда
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:628.8:54-483
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar13184578
$a Афонин
$b С. М.
$g Сергей Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$a Осокин
$b В. И.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Сазонов
$b А. А.
$g Александр Афанасьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070827
$g psbo
|
