Автоматизация обеспечения микроклимата и технологических процессов в чистых производственных помещениях: Материалы к 3-й науч.-техн. конф. «Экология микроэлектроники-90» / С. М. Афонин, В. И. Осокин, А. А. Сазонов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Афонин, С. М. |
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1990 |
| Физические характеристики: |
190 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||