|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr36450920000 |
| 005 |
20181030124105.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [91-34084]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070827d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Вакуумно-плазменное травление в технологии ИС
$e Учеб. пособие по курсу «Технология интегр. микросхем»
$f Моск. ин-т электрон. техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 99 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Перед вып. дан. 1-й авт.: Астахова Нелля Андреевна. - Библиогр.: с. 97 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 250 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Травление вакуумно-плазменное
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:776.442(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Астахова
$b Н. А.
$g Нелли Андреевна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Глазова
$b Г. И.
$g Галина Ивановна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070827
$g psbo
|
