Вакуумно-плазменное травление в технологии ИС: Учеб. пособие по курсу «Технология интегр. микросхем» / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Астахова, Н. А. |
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1990 |
| Физические характеристики: |
99 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||