Кинетика и механизм термического окисления кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук: (02.00.04) / МГУ им. М. В. Ломоносова, Хим. фак.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Анохин, В. З. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
44 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||