Модель газофазных процессов в СВЧ-разряде пониженного давления O2/SiCl4/SF6 при осаждении слоев SiO2: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Ин-т общ. физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Александров, Д. И. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35850430000 | ||
| 005 | 20230209115433.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [87-16778а] |
| 100 | # | # | $a 20070808d1987 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Модель газофазных процессов в СВЧ-разряде пониженного давления O2/SiCl4/SF6 при осаждении слоев SiO2 $e (01.04.04) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН СССР, Ин-т общ. физики |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-16 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Александров $b Д. И. $g Дмитрий Игоревич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070808 $g psbo |