Повышение эффективности процесса фотолитографии полупроводниковых пластин на основе адаптивных пневмовихревых устройств: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.01 ; 05.13.07) / Воронеж. технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Абрамов, Г. В. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1991 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||