Энергетический спектр и температурная стабильность радиационных дефектов в кремнии, образующихся вблизи границы Si-SiO₂ при ионной имплантации: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ458213,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Аббасова, Р. У.
Опубликовано: М. , 1983
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr35486220000
005 20070808123159.0
021 # # $a RU  $b [83-6954а] 
100 # # $a 20070808d1983 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Энергетический спектр и температурная стабильность радиационных дефектов в кремнии, образующихся вблизи границы Si-SiO₂ при ионной имплантации  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 
210 # # $a М.  $d 1983 
215 # # $a 19 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН СССР, Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева. Библиогр.: с. 17-19 (11 назв.) 
675 # # $a 621.315.592 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Аббасова  $b Р. У.  $g Ремзие Усеиновна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070808  $g psbo