Энергетический спектр и температурная стабильность радиационных дефектов в кремнии, образующихся вблизи границы Si-SiO₂ при ионной имплантации: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Аббасова, Р. У. |
| Publié: | М. , 1983 |
| Description matérielle: |
19 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||