Электронно-микроскопический метод исследования неоднородностей рельефа поверхности полупроводниковых материалов на атомном уровне: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Егоров, В. Л. |
| Published: | М. , 1984 |
| Physical Description: |
25 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||