Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем: (05.298): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Киевский политехн. ин-т им. 50-летия великой Октябрьской соц. революции
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Дудкин, В. И. |
| Wydane: | Киев , 1970 |
| Opis fizyczny: |
23 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||