Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем: (05.298): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Киевский политехн. ин-т им. 50-летия великой Октябрьской соц. революции
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Дудкин, В. И. |
| Published: | Киев , 1970 |
| Physical Description: |
23 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||