Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем: (05.298): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Киевский политехн. ин-т им. 50-летия великой Октябрьской соц. революции
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Дудкин, В. И. |
| Апублікавана: | Киев , 1970 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||