|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34659960000 |
| 005 |
20070801173754.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 1 р. 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [80-37514]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070801d1980 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники
$f Перевод с англ. М. И. Кондакова; Под ред. Е. Б. Соколова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Металлургия
$d 1980
|
| 215 |
# |
# |
$a 112 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Перевод изд.: The engineering of microelectronic thin and thick films / С. Е. Jowett. Библиогр.: с. 106-111
|
| 345 |
# |
# |
$9 4100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Материалы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.3
|
| 700 |
# |
1 |
$a Джоветт
$b Ч. Э.
$g Чарльз Э
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070801
$g psbo
|
