Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники / Перевод с англ. М. И. Кондакова; Под ред. Е. Б. Соколова
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Джоветт, Ч. Э. |
Опубликовано: | М. : Металлургия , 1980 |
Физические характеристики: |
112 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 3 , доступно: 3 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|