Электроннозомдовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Деркач, В. П. |
| Publié: | Киев : [Ин-т кибернетики] , 1973 |
| Description matérielle: |
34 с. : ил. ; 20 см
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Препринт
73-41 |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||