Малогабаритное устройство для магнетронного распыления / В. И. Дедю, А. Н. Лыков, Л. И. Махашвили
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дедю, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
8 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт. Физика твердого тела
№ 92 |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34492480000 | ||
| 005 | 20180212092418.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [87-45069] |
| 100 | # | # | $a 20070801d1987 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Малогабаритное устройство для магнетронного распыления $f В. И. Дедю, А. Н. Лыков, Л. И. Махашвили |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 8 с. |
| 225 | 2 | # | $a Препринт. Физика твердого тела $f АН СССР, Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева $v № 92 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 7 (5 назв.) |
| 345 | # | # | $9 100 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.315.592-416.002:621.793.7.06 |
| 700 | # | 1 | $a Дедю $b В. И. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070801 $g psbo |