Малогабаритное устройство для магнетронного распыления / В. И. Дедю, А. Н. Лыков, Л. И. Махашвили
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дедю, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
8 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт. Физика твердого тела
№ 92 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||