Исследование и разработка измерительных средств для контроля геометрических параметров изделий микроэлектроники: (05.11.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Сев.-Зап. заоч. политехн. ин-т
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Данилов, А. А. |
| 出版: | Л. , 1973 |
| 實物描述: |
15 с.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||