Исследование и разработка измерительных средств для контроля геометрических параметров изделий микроэлектроники: (05.11.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Сев.-Зап. заоч. политехн. ин-т
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Данилов, А. А. |
| Published: | Л. , 1973 |
| Physical Description: |
15 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||