|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34393940000 |
| 005 |
20200129105137.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-283-03939-0
$b в пер.
$d 3 р. 60 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [89-28186]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергоатомиздат
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 326, [1] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Загл. корешка: Применение плазмы... - Библиогр.: с. 316-324 (182 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Осаждение
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронно-ионная технология
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1.002:533.915
|
| 700 |
# |
1 |
$a Данилин
$b Б. С.
$g Борис Степанович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
